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某半导体公司用于高浓度
单位名称:某半导体公司
臭氧选型:制作高浓度臭氧水
实验内容:3S-T10,3S-J5000,3S-J1000
某研究所ALD用臭氧发生器
单位名称:某研究所
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实验内容:NANO15,3S-J5000
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