臭氧的氧化性极强，其氧化还原电位达2.07，对金属有着很强的腐蚀作用。而实际应用中，科学家们使用臭氧为金属镀上一层氧化膜，这样可以更好的保护金属，保证其性能稳定。
值得注意的是：气象和固相的氧化的效率比较低，过程缓慢，必须经过特定的工艺才能使氧化进程加快。
图为现场铜Cu的氧化。